掃描探針顯微鏡與掃描電子顯微鏡都是顯微鏡，但他們的功能和用途不同，工作原理也不一樣。當(dāng)然了，價(jià)格上也是不一樣的，掃描電子顯微鏡要貴得多。

１、功能

掃描探針顯微鏡具有極高的分辨率。它可以輕易的“看到”原子，這是一般顯微鏡甚至電子顯微鏡所難以達(dá)到的。掃描探針顯微鏡得到的是實(shí)時(shí)的、真實(shí)的樣品表面的高分辨率圖像。而不同于某些分析儀器是通過(guò)間接的或計(jì)算的方法來(lái)推算樣品的表面結(jié)構(gòu)。掃描探針顯微鏡使用環(huán)境寬松。電子顯微鏡等儀器對(duì)工作環(huán)境要求比較苛刻，樣品必須安放在高真空條件下才能進(jìn)行測(cè)試。而SPM既可以在真空中工作，又可以在大氣中、低溫、常溫、高溫，甚至在溶液中使用。

２、用途

掃描探針顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域是寬廣的。無(wú)論是物理、化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)等基礎(chǔ)學(xué)科，還是材料、微電子等應(yīng)用學(xué)科都有它的用武之地。

掃描電子顯微鏡*基本的功能是對(duì)各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀(guān)察。大景深圖像是掃描電子顯微鏡觀(guān)察的特色，例如：生物學(xué)，植物學(xué)，地質(zhì)學(xué)，冶金學(xué)等等。觀(guān)察可以是一個(gè)樣品的表面，也可以是一個(gè)切開(kāi)的面，或是一個(gè)斷面。冶金學(xué)家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶體的生長(zhǎng)或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過(guò)的木頭的 細(xì)微結(jié)構(gòu)，生物學(xué)家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲(chóng)。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。

３、工作原理

掃描探針顯微鏡由于其工作原理是控制具有一定質(zhì)量的探針進(jìn)行掃描成像，因此掃描速度受到限制，檢測(cè)效率較其他顯微技術(shù)低；由于壓電效應(yīng)在保證定位精度前提下運(yùn)動(dòng)范圍很?。壳半y以突破100μm量級(jí)），而機(jī)械調(diào)節(jié)精度又無(wú)法與之銜接，故不能做到象電子顯微鏡的大范圍連續(xù)變焦，定位和尋找特征結(jié)構(gòu)比較困難；目前掃描探針顯微鏡中*為廣泛使用管狀壓電掃描器的垂直方向伸縮范圍比平面掃描范圍一般要小一個(gè)數(shù)量級(jí)，掃描時(shí)掃描器隨樣品表面起伏而伸縮，如果被測(cè)樣品表面的起伏超出了掃描器的伸縮范圍，則會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)無(wú)法正常甚至損壞探針。因此，掃描探針顯微鏡對(duì)樣品表面的粗糙度有較高的要求。

 ４、價(jià)格

價(jià)格上也是不一樣的，掃描電子顯微鏡要貴得多。

通過(guò)以上分享，你現(xiàn)在知道掃描探針顯微鏡與掃描電子顯微鏡的區(qū)別了吧。功能和用途不同，工作原理也不一樣。當(dāng)然了，價(jià)格上也是不一樣的，掃描電子顯微鏡要貴得多。